La micro-nano technologie : introduction aux procédés Présentiel
Dernière mise à jour : 03/02/2026
Unité de recherche
Description
Environnement salle blanche : contamination et zones à atmosphères contrôlées
- La contamination : définitions/mécanismes
- Salles blanches et filtration des fluides
- Les nettoyages humides : exemples et contamination de surface en procédé
Initiation au vide
- Les gaz et la pression, les pompes, les fuites, le dégazage
Elaboration de couches minces
- PVD, CVD : principes des techniques
- Contraintes, modes de croissance : définition et influence sur les propriétés physiques (adhérence...)
La lithographie optique
- Les résines, leurs paramètres importants : résolution, contraste, sensibilité, courbe de réponse spectrale, tenue à la gravure
- La photolithographie : les différents modes d'insolation, la résolution, les perturbations (diffraction, proximité...)
Les techniques de gravure
- La gravure chimie/physique, la gravure sèche/humide
Objectifs de la formation
- Connaître les conditions de travail en salle blanche
- Acquérir des bases dans différents domaines des micro et nano-technologies : lithographie, gravure, dépôt de couches minces, plasmas
Public visé
Toute personne souhaitant mettre en œuvre des procédés technologiques
Prérequis
Aucun
Modalités pédagogiques
Alternance de cours (70 %) et de travaux pratiques (30 %)
Moyens et supports pédagogiques
Un support papier et un fichier au format PDF seront mis à disposition du participant.
Modalités d'évaluation et de suivi
Un suivi individualisé par des évaluations formatives est assuré. Une attestation de fin de formation est délivrée à la fin du parcours.
Formateurs
AG
AGNUS Guillaume
Responsable scientifique
WM
WOYTASIK Marion
Responsable scientifique
Informations sur l'admission
L'admission à cette formation ne fait l'objet d'aucun examen, test ou sélection préalable ; l'inscription est validée après réception du dossier complet et confirmation par l'organisme de formation.
Modalités tarifaires spécifiques
Nos formations sont exonérées de TVA. Elles bénéficient de remises volumes : - 5% pour 3-4 inscrits, - 10% pour 5-6 inscrits, et - 20% à partir de 7 personnes. Une réduction de 20% est appliquée pour les agents salariés du CNRS.
Informations sur l'accessibilité
Notre organisme s'engage à garantir l'accessibilité de ses formations à distance et en présentiel aux personnes en situation de handicap. Un référent handicap est mobilisable afin d'analyser les besoins spécifiques et de mettre en place, lorsque cela est possible, les adaptations pédagogiques, techniques ou organisationnelles nécessaires.