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La micro-nano technologie : introduction aux procédés Présentiel

Dernière mise à jour : 07/10/2025

Description

 

Environnement salle blanche : contamination et zones à atmosphères contrôlées

  • La contamination : définitions/mécanismes
  • Salles blanches et filtration des fluides
  • Les nettoyages humides : exemples et contamination de surface en procédé

 

Initiation au vide

  • Les gaz et la pression, les pompes, les fuites, le dégazage

 

Elaboration de couches minces

  • PVD, CVD : principes des techniques
  • Contraintes, modes de croissance : définition et influence sur les propriétés physiques (adhérence...)

 

La lithographie optique

  • Les résines, leurs paramètres importants : résolution, contraste, sensibilité, courbe de réponse spectrale, tenue à la gravure
  • La photolithographie : les différents modes d'insolation, la résolution, les perturbations (diffraction, proximité...)

 

Les techniques de gravure

  • La gravure chimie/physique, la gravure sèche/humide

Objectifs de la formation

  • Connaître les conditions de travail en salle blanche
  • Acquérir des bases dans différents domaines des micro et nano-technologies : lithographie, gravure, dépôt de couches minces, plasmas

Public visé

Toute personne souhaitant mettre en œuvre des procédés technologiques

Prérequis

Aucun

Modalités pédagogiques

Alternance de cours (70 %) et de travaux pratiques (30 %)

Moyens et supports pédagogiques

Un support papier et un fichier au format PDF seront mis à disposition du participant.

Modalités d'évaluation et de suivi

Un suivi individualisé par des évaluations formatives est assuré. Une attestation de fin de formation est délivrée à la fin du parcours.

Modalités tarifaires spécifiques

Nos formations sont exonérées de TVA. Elles bénéficient de remises volumes : - 5% pour 3-4 inscrits, - 10% pour 5-6 inscrits, et - 20% à partir de 7 personnes. Une réduction de 20% est appliquée pour les agents salariés du CNRS.

Informations sur l'accessibilité

Notre laboratoire est entièrement accessible aux personnes à mobilité réduite (PMR). Un accès adapté, des espaces de circulation et des sanitaires spécifiques sont à votre disposition pour garantir votre confort et votre autonomie. Pour toute information complémentaire, veuillez nous contacter.

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Session sélectionnée

  • 08/01/26 14:00 → 26/02/26 17:00
    C2N – PALAISEAU - PALAISEAU (91) 40 places restantes

  • Détails :

    08/01/26 : 14:00 → 17:00
    15/01/26 : 14:00 → 17:00
    22/01/26 : 14:00 → 17:00
    29/01/26 : 14:00 → 17:00
    05/02/26 : 14:00 → 17:00
    12/02/26 : 14:00 → 17:00
    19/02/26 : 14:00 → 17:00
    26/02/26 : 14:00 → 17:00

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