Interactions plasma/surfaces : utilisation des plasmas froids pour le traitement et la modification de surfaces Présentiel
Dernière mise à jour : 06/10/2025
Description
- Bases théoriques des plasmas
- Production de plasmas froids
- Diagnostic optique des plasmas
- Introduction aux mécanismes de gravure
- Fonctionnement d'un réacteur RF (13.56 MHz) (TP)
- Procédés de pulvérisation et caractérisation des couches minces obtenues
- Plasmas et croissance de films minces
- Utilisation de l'actinométrie pour la caractérisation d'un plasma (TP)
- Utilisation des sondes de Langmuir (TP)
- Procédé de dépôts de couches minces à l'échelle atomique (PE-ALD)
- Introduction aux plasmas à la pression atmosphérique
- Interactions plasmas/polymères
- COMSOL MultiPhysics
Objectifs de la formation
- Acquérir et/ou consolider des bases en physique des plasmas (fonction de distribution, sections efficaces de collisions, équilibre thermodynamique…)
- Savoir utiliser des diagnostics plasma (optique et électrostatique) et interpréter les résultats obtenus
- Connaitre les principaux traitements de surfaces utilisant les plasmas : dépôt et gravure de couches minces
- Décrire les possibilités de traitements de polymères, les spécificités des plasmas à pression atmosphérique
Public visé
Prérequis
Modalités pédagogiques
Moyens et supports pédagogiques
Des supports papier et numériques (clés USB) contenant l'intégralité des slides présentés seront fournis aux participants. Les ouvrages publiés après les journées du réseau plasmas froids seront également présentés aux participants.
EQUIPEMENT : Dispositif de mesure par sonde électrostatique (de Langmuir), disponible via le réseau Plasmas Froids du CNRS ; spectromètre optique de haute résolution (Jobin-Yvon FHR1000) ; dispositif interférentiel de mesure d'épaisseur ; réacteur plasma ECR (2,45 GHz) ; réacteur R.F. (13,56 MHz), COMSOL MultiPhysics - Plasma Toolbox. Une version d'évaluation complète de la suite logiciel COMSOL MultiPhysics sera mise à disposition des participants une semaine avant la formation et pour une durée d'un mois. Il est préférable que les participants puissent amener un PC sur lequel ce logiciel sera chargé ; sinon un poste de travail sera fourni par le LPSC.